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IMTEC ACCULINE社は1972年に設立以来、高品質な製品を世界各国の半導体業界500社以上に納入してきました。特に温度コントロール石英槽の分野では、アキュバス^®の名で知られており、オーバーフロー槽、ナイトライドエッチシステム等では世界のリーディングメーカーとして、その役割を果たしてきました。 アキュバス^®は長年の経験と研究の結果から耐久性と正確な温度コントロールを可能にしました。インコーネルヒーターを使用することにより低温度域での昇温を可能とし均一な温度分布を可能とし、また専用コントローラーとRTDセンサにより±0.2℃の精密温度コントロールを実現しました。安全面においては、熱電対とサーモスタットによる二重の過熱防止機構が備わっています。 正確さ、安全性、耐久性、のどれをとっても他社に類を見ない業界でも認められた温度コントロールバスです。